Fondamenti Di Tecnologie E Materiali Per L'elettronica

Il testo — una raccolta strutturata delle lezioni svolte negli ultimi anni per gli studenti di Ingegneria elettronica, sia del vecchio che del nuovo ordinamento — si propone di fornire i fondamenti delle tecnologie della microelettronica a studenti della laurea triennale di Ingegneria elettronica e di essere anche un utile riferimento per studenti della laurea specialistica di Ingegneria elettronica e Ingegneria dell’informazione, senza pretese di esaustività in un campo multidisciplinare in rapidissimo sviluppo. Il testo è organizzato in due parti: nella prima sono esposte dettagliatamente le fasi di fabbricazione dei principali dispositivi elettronici integrati. Nella seconda, sono descritte ampiamente le tecniche di fabbricazione (litografie, ossidazioni, drogaggi, deposizioni, etching, etc.) e gli aspetti fisico–chimici inerenti, le apparecchiature, i modelli cinetici per la simulazione di processo.